多级脉冲电源 

概述： 该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。 应用特征

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2025-05-19 10:09:33 点击7268次
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该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。


应用特征

该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、 PECVD。

多级脉冲电源
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